双频激光干涉检测仪设备

中图仪器双频激光干涉检测仪设备具有完整的自主知识产权，稳频精度≤0.04ppm，测量精度0.5ppm，测量距离达80米。以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，是高精度、高灵敏度测量仪器，广泛应用于精密机械设备、精密检测仪器、三坐标、机器人、3d打印设备、机床、自动化设备、线性位移平台等领域的线性测量。

产品优势

1、精度高

sj6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

2. 功能广

可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

可实现对机床回转轴的测量与校准；

可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

支持手动或自动进行环境补偿。

3. 软件强

友好的人机界面；

丰富的应用功能模块；

向导式的操作流程；

简洁化的记录管理；

支持中文、英文和俄文界面；

支持企业专属模板定制。

中图仪器双频激光干涉检测仪设备可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等多几何参量的高精密测量，用于检测数控机床、自动化设备、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等，以及进行数控机床、三坐标测量机的精度补偿。

测量机床直线度

测量机床偏摆角度

回转轴精度测量

中图仪器双频激光干涉检测仪设备主要由sj6000激光干涉仪主机、角度镜组、wr50自动精密转台、sj6000回转轴测量软件构成。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，在动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行加速度、位移、速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。测量分辨率可达0.01″，系统测量精度为±1″，基准wr50自动精密转台重复精度为0.2″。