白光干涉三维轮廓仪

白光干涉三维轮廓仪利用光学干涉原理，测量单个精细器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点。

产品功能

(1)白光干涉三维轮廓仪提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；

(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；

(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

部分技术指标

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白光干涉三维轮廓仪特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3c电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、mems器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例：

性能特色

1、高精度、高重复性

1）采用光学干涉技术、精密z向扫描模块和优异的3d重建算法组成测量系统，保证测量精度高；

2）隔振系统，能够有效隔离频率2hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；

2、环境噪声检测功能

具备0.1nm分辨率的环境噪声检测模块，能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。

3、精密操纵手柄

集成x、y、z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、z向聚焦、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

在初级的软件zstop设置z向位移下限位进行防撞保护外，另在z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。

5、双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。

白光干涉仪的自动拼接测量功能，不管是在粗糙或是光滑、异形或是平面结构，当要测量超出适配镜头下的单视场区域的时候，可以根据不同表面特点进行重建算法的切换。