名称 |
内容 |
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测量范围 |
z轴(垂直) |
160μm |
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x轴(水平) |
17.5mm |
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分辨率 |
z轴(垂直) |
0.01μm/±20μm |
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0.02μm/±40μm |
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0.04μm/±80μm |
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测量项目 |
参数 |
ra、rq、rz、rt |
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标准 |
iso、gb |
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滤波器 |
rc,pc-rc,gauss,d-p |
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取样长度(lr) |
0.25,0.8,2.5 (mm) |
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评定长度(ln) |
ln= lr×n n=5 |
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传感器 |
测量原理 |
位移式差动电感 |
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触针 |
天然金刚石,90锥角,5μm针尖半径 |
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测力 |
<4mn |
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导头 |
红宝石,滑行方向半径40mm |
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滑行速度 |
lr=0.25, vt=0.135mm/s |
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lr=0.8, vt=0. 5mm/s |
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lr=2. 5, vt=1mm/s |
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返回 vt=1mm/s |
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示值误差 |
不大于±10% |
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示值变动性 |
不大于6% |
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电源 |
内置锂离子充电电池,用8.4v,1000ma充电器充电 |
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外形尺寸 |
119×47×65mm |
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重量 |
约380g |