超纯水水质指标

   超纯水水质指标常用的是电阻率，总有机碳，颗粒，热源         超纯水水质指标分为一级超纯水水质指标和二级超纯水水质指标  分别为电阻率（25℃）mω。cm≥15  ≥10  2。电导率μs/cm0.05  0.1     3.   ph值6.8-7.2   6.6-7.4    4.细菌 总数个/ml  ＜3 ＜9  5.微粒（直径＞0.5μm,粒/ml)＜150  ＜300  6.  二氧化硅＜10   ＜20   7.有机物（以cod计）＜0.3 ＜0.5  8.钠 n＜0.5 ＜2