工艺卡点 石墨舟配件

1.提高产品成品率：硅片装夹牢固，减少掉片现象，减少氮化硅的色差片，提高了成品率。 2.工艺点钩点小，新的圆形工艺点在硅片上的钩点面积是1.472mm2，新的菱形工艺点钩点面积是0.619mm2。 3.使用寿命长。 4.采用德国西格里高纯石墨，纯度高、硬度高、耐磨、使用寿命长。